舜宇全新MX8R 半導(dǎo)體檢查金相顯微鏡,專為半導(dǎo)體、顯示面板與精密工業(yè)檢測打造,支持最大 300mm 晶圓與 17 英寸液晶面板檢測,標(biāo)配 6/8/12 英寸多規(guī)格轉(zhuǎn)盤,一站式覆蓋不同尺寸晶圓檢測需求。整機全面升級人機工程設(shè)計,操作更舒適、移動更靈活、響應(yīng)更快捷,為工業(yè)質(zhì)檢與科研觀察提供穩(wěn)定高效的成像平臺。
一、大視野光學(xué)系統(tǒng),觀測更通透
采用全新設(shè)計MX8R 多檔分光比觀察頭,搭配寬光束成像系統(tǒng),最大觀察視野可達 26.5mm,帶來開闊無遮擋的觀測體驗。
配備25mm 大視野目鏡,相比常規(guī) 22mm 視場更寬廣、像面更平坦,視場邊緣依然清晰明亮,配合更大屈光度調(diào)節(jié)范圍,適配更多用戶長時間穩(wěn)定觀測,顯著提升工作效率。
二、高剛性工業(yè)機架,穩(wěn)定更可靠
機身采用低重心、高剛性全金屬專用機架,具備優(yōu)異抗震與吸震性能,從結(jié)構(gòu)上保證成像長期穩(wěn)定,滿足半導(dǎo)體與精密材料檢測對圖像一致性的嚴苛要求。
搭載三層大行程機械移動平臺,兼容晶圓 / FPD 檢測、電路封裝、基板檢查、金屬陶瓷、精密磨具與厚標(biāo)本觀測,移動順滑、定位精準(zhǔn)。
三、專業(yè)長工作距物鏡,安全更清晰
標(biāo)配全套專業(yè)半復(fù)消色差長工作距金相物鏡,采用高透過率鏡片與先進鍍膜工藝,真實還原樣品自然色彩,成像銳利、色彩準(zhǔn)確。
長工作距設(shè)計可有效避免物鏡與樣品碰撞,標(biāo)配20X 長工作距物鏡,全面滿足半導(dǎo)體與工業(yè)檢測場景的安全與精度需求。
四、高性能微分干涉,微缺陷一目了然
內(nèi)置諾曼爾斯基微分干涉襯比(DIC)系統(tǒng),可將明場下難以識別的微小高低差,轉(zhuǎn)化為高對比度明暗差與立體浮雕效果,輕松捕捉 LCD 導(dǎo)電粒子、精密磁盤劃痕、材料微裂紋等細微缺陷,檢測能力大幅提升。
適用領(lǐng)域
半導(dǎo)體晶圓檢測(6/8/12/300mm)
液晶面板(FPD)與顯示器件檢測
電路封裝、PCB 基板檢測
金屬 / 陶瓷 / 復(fù)合材料分析
精密磨具、鑄件與表面質(zhì)量檢測
舜宇 MX8R 以大尺寸兼容、高穩(wěn)定機架、長工作距安全光學(xué)、DIC 微缺陷檢出為核心優(yōu)勢,是半導(dǎo)體與先進制造領(lǐng)域的專業(yè)金相檢測利器。